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擴散爐、熔接機等半導體制造設備、熱處理設備、真空環境用途(無塑膠、橡膠等制品之氣體釋出）。
特點：1.全配件采金屬件（若有需要刮油片亦可選用耐高溫橡膠之材質）；2.可耐高溫，其耐熱溫度近達150°C。
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